Mga Pangunahing Materyales na Ginamit sa mga Sputtering Target para sa mga Manipis na Patong

Ang proseso ng sputtering ay nagpapasingaw sa isang pinagmumulan ng materyal, na tinatawag na target, upang magdeposito ng manipis at high-performance na pelikula sa mga produktong tulad ng mga semiconductor, salamin, at mga display. Direktang tinutukoy ng komposisyon ng target ang mga katangian ng patong, kaya mahalaga ang pagpili ng materyal.

Malawak na hanay ng mga metal ang ginagamit, bawat isa ay pinili para sa mga partikular na pakinabang sa paggana:

Mga Metal na Pundasyon para sa Elektroniks at mga Interlayer

Ang High-Purity Copper ay pinahahalagahan dahil sa pambihirang electrical conductivity nito. Ang mga target na 99.9995% purong tanso ay mahalaga para sa paglikha ng mga mikroskopikong kable (mga interconnect) sa loob ng mga advanced na microchip, kung saan ang minimal na electrical resistance ay pinakamahalaga para sa bilis at kahusayan.

Ang High-Purity Nickel ay nagsisilbing isang maraming gamit na workhorse. Pangunahin itong ginagamit bilang isang mahusay na adhesion layer at isang maaasahang diffusion barrier, na pumipigil sa paghahalo ng iba't ibang materyales at tinitiyak ang integridad ng istruktura at mahabang buhay ng mga multi-layer device.

Ang mga refractory metal tulad ng Tungsten (W) at Molybdenum (Mo) ay pinahahalagahan dahil sa kanilang mataas na resistensya sa init at estabilidad, kadalasang ginagamit bilang matibay na diffusion barrier at para sa mga contact sa mga mahihirap na kapaligiran.

Mga Espesyalisadong Functional Metal

Ang High-Purity Silver ay nag-aalok ng pinakamataas na electrical at thermal conductivity kumpara sa anumang metal. Ginagawa nitong mainam para sa pagdeposito ng mga highly conductive at transparent na electrodes sa mga touchscreen at napakatalino at low-emissivity coatings sa mga energy-saving window.

Ang mga mahahalagang metal tulad ng Ginto (Au) at Platinum (Pt) ay ginagamit para sa lubos na maaasahan, lumalaban sa kalawang na mga kontak na elektrikal at sa mga espesyal na sensor.

Ang mga Transition Metal tulad ng Titanium (Ti) at Tantalum (Ta) ay mahalaga para sa kanilang mahusay na pagdikit at mga katangian ng harang, na kadalasang bumubuo ng pundasyong patong sa isang substrate bago ilapat ang iba pang mga materyales.

Bagama't ang magkakaibang kagamitang ito ng materyal ay nagbibigay-daan sa modernong teknolohiya, ang pagganap ng tanso para sa kondaktibiti, nickel para sa pagiging maaasahan, at pilak para sa pinakamataas na repleksyon ay nananatiling walang kapantay sa kani-kanilang mga aplikasyon. Ang pare-parehong kalidad ng mga metal na ito na may mataas na kadalisayan ang siyang pundasyon ng mga high-performance thin-film coatings.